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多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
发布时间： 2022-04-26 点击次数： 1638次多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
测量示例
可以测量从半导体等精密加工产品到眼镜和汽车零件的各种样品的膜厚。
F3-CS桌面式膜厚测量系统
F3-CS 是测量小样品的测量系统。与测量台集成的测量系统使其易于携带。
只需将样品的测量面朝下放在载物台上即可进行测量，大约1秒即可测量膜厚和折射率。主要特点
紧凑的尺寸
轻松连接，仅 USB 连接
光学常数分析（折射率/消光系数）
主要用途
光学镀膜 硬涂层、防滴膜等 平板 有机膜等 产品阵容
模型 F3-CS-UV F3-CS F3-CS-近红外 测量波长范围 190 – 1100nm 380 – 1050nm 950 – 1700nm 膜厚测量范围
3nm – 40μm 15nm – 70μm 100nm – 250μm 准确性* ± 0.2% 薄膜厚度 ± 0.4% 薄膜厚度 1纳米 2纳米 3纳米 *取决于样品和测量条件
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